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    SEM

    • 產(chǎn)品介紹

        此設備為緊湊型場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,成像分辨率優(yōu)于10nm。低加速電壓成像,有效減少電荷累積,非導電樣品,無(wú)須噴金噴碳處理,便可直接進(jìn)行觀(guān)察。

      技術(shù)參數
      • 電子槍?zhuān)簣?chǎng)發(fā)射電子源
      • 加速電壓:0.5 to 2 kV
      • 束流:0.2 to 1 nA 
      • 分辨率:<10 nm (@1kV)
      • 放大倍數:250 to 130,000x  (2048×2048pixels) 
      • 樣品尺寸:最大 100×60 mm
      • 樣品高度:最大 30 mm

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